精密光学

高度通用的超声波系统,可靠的最终清洗微观结构

颗粒大小不能超过1µm

微结构领域的技术进步和加工更大基片的需要需要在波格游戏 Präzisionsoptik Gera安装一个新的最终清洗系统. UCM AG提出的设备解决方案获得了客户的认可. 它使清洁未经处理的晶圆以及结构和涂层基板成为可能. 可靠地满足了清洁度规范规定的“颗粒不得大于1µm”.

1991年,德国格拉的蔡司工厂倒闭, 一群前高层主管领导了管理层收购,以保持和发展Gera的光学制造的悠久传统, 从而标志着波格游戏 Präzisionsoptik Gera GmbH的诞生. 如今,该公司拥有140名员工. 开发和生产, 一方面, 定制光学精密零件, 用于整个光谱光学范围的元件和器件. 这些产品被世界各地的客户在机械工程领域所使用, 测量技术, 工业图像处理, 医疗设备, 激光技术, 以及半导体和航空航天工业. 另一方面, 作为标准化和定制光学微结构的制造商,该公司赢得了国际声誉, e.g.网络网格和比例网格、USAF分辨率目标、针孔孔径和校准目标. 在这部分,波格游戏可以处理所有的开发和生产过程内部. “威尼斯真人最近扩大了微结构制造的技术选择范围和威尼斯真人能够处理的基板尺寸. 因此, 需要一个新的最终清洗系统。”, 报道1月Schubach, 波格游戏的董事总经理之一.

要求最大程度的清洁

波格游戏的光学显微结构主要由b270玻璃和石英玻璃组成, 以及从陶瓷和玻璃陶瓷基板. 最后的清洁步骤,用来清除灰尘, 抛光产品和指纹的超细残留是强制性的,无论是在未处理的基材,还是添加结构和涂层. 由于应用于底物的结构在某些情况下只能测量2µm, 洁净度要求颗粒不应大于1µm. 波格游戏与一位外部顾问在与不同设备制造商讨论其技术的同时,为这些非常苛刻的清洁任务开发了一种解决方案.

一个通用的清洗系统,而不是多个特殊类型

“威尼斯真人正在研究用于特殊用途的不同清洁概念,如清洁掩模或半导体行业的特定基板配置. 很可能,威尼斯真人需要三种不同的系统来满足威尼斯真人的需求. 这促使威尼斯真人与UCM取得威尼斯真人官方. 威尼斯真人已经拥有这个设备制造商的一套清洁系统, 和威尼斯真人的顾问, 太, 在公司的另一个项目中积累了良好的经验”, Jan Schubach解释说. 瑞士UCM AG), Ecoclean组织的成员, 与波格游戏和顾问一起修订和调整了装备概念. “UCM非常灵活地处理威尼斯真人的提案, 凭借自身在光学产品清洗系统制造方面的丰富经验”, 总经理回忆道.


新的超声波清洗线共有11个工位, 包括7个浸没式水箱. 这些设计用于以下工艺步骤:湿装, 多频超声波清洗(40 kHz和80 kHz), megasonic清洁, 冲洗, fine-冲洗, 红外干燥通过分度带式输送机, 和卸载.


湿式装载操作以及所有的清洗和漂洗过程都由demin完成. (完全软化)水. 这取决于清洁程序, 冲洗水用于级联回路, 被丢弃的, 或者被送到另一个排水沟. 这种方法有助于高清洗质量, UCM开发的用于所有油箱的四边溢流特性也是如此. 清洗或漂洗液从下方进入水箱, 向上移动,然后在四周溢出. 因此,从产品中除去的杂质将直接从罐中排出. 这避免了零件卸载过程中的再次污染,同时也防止了罐内灰尘袋的形成. 此外,衬底处理非常彻底和均匀.


冲洗槽还有另一个特殊的设计功能. 水在高压下被泵入这些水箱,从而引起湍流. 这就足够了, 配合产品运动, 目前无需超声波辅助冲洗底物. 然而, 机械设备和控制系统都已准备好,以支持未来的超声集成,以便用户将能够快速和灵活的反应,如果更苛刻的要求出现.

无尘室全自动清洗

清洗系统集成成一个洁净室. 待处理基材, 尺寸可达10英寸, 在特殊的磁带中手动放置在系统的搬运架上. 操作者然后选择适当的特定部位清洗方案. 这些数据存储在系统的控制器中,并决定在每种情况下使用哪些工作站和哪些处理参数.g.、超声波功率、频率、停留时间-应设置为每个罐. 为了确保每个工作站准确遵守规定的治疗时间, 灵活的控制系统支持“优先时间”的输入. “威尼斯真人目前正与10个不同基材的项目合作,从一开始的所有清洁任务都取得了优异的效果. 清洁系统自2015年3月移交以来一直运行平稳. 事实上, 威尼斯真人没有看到这种复杂设备在使用初期通常会遇到的任何问题。”, 简·舒巴赫满意地注意到这一点.


作者:多丽丝·舒尔茨

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